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多年来,芯片级高纯双氧水一直是半导体产业“卡脖子”的工艺材料。7月13日,晶瑞(湖北)微电子材料有限公司一期年产10.5万吨电子级微电子材料项目在潜江顺利投产,建成高纯双氧水等一系列达到SEMI标准的G5等级的产品,打破国外技术垄断,全面实现国产化。
“我们这个湖北基地的投产,同时承担了多项国家重大科技专项和湖北省的科技重大专项。” 晶瑞(湖北)微电子材料有限公司董事长刘兵博士介绍,目前此次投产的高纯化学品中,芯片级双氧水是我们整个国内唯一国产化的一个产品,也是我国一个“专优特新”独有的产品。
当前,我国半导体材料行业迎来快速发展的黄金期,据中国电子材料行业协会预测,2022年国内半导体行业湿电子化学品需求量可达59.5万吨。多年来,晶瑞电材不断提升半导体产品中超净高纯试剂方面的生产研发能力,多项产品技术水平突破国外技术封锁,达到行业先进水平。
2019年,晶瑞电材联合长江产业基金与潜江市共同发起设立长江微电子材料产业基金,携手打造潜江微电子材料产业园。几年来,在晶瑞的引领下,一批微电子材料领域领军企业纷纷落子潜江,与武汉的京东方、长江存储、华星光电等龙头企业上下配套,这也成为潜江深度配套武汉光芯屏端网产业的生动实践。
“晶瑞一期项目的顺利投产,标志着潜江微电子材料产业园的从无到有、由小变大。”潜江市王场镇党委副书记李凯告诉记者,目前潜江微电子材料产业园已有中巨芯、鼎龙、兴训、华耐德、北旭等一批助力武汉光芯屏端网产业的专精特新企业。
“后期,随着这批项目的投产落地,我们有信心将园区打造成为武汉光芯屏产业的最大配套基地,满足全省乃至全国对微电子材料的需求。”李凯说。
当天,湖北晶瑞年产30万吨电子级双氧水配套工程项目也续签潜江,这将进一步扩充半导体行业湿电子化学品产能,来满足急剧增长的市场需求。
“我们现在的湖北双氧水基地,是全国单体最大的芯片级双氧水基地,我们整个的产品会辐射全国。”刘兵博士称,后续,晶瑞计划每年在潜江投产一期项目,将园区建设成为全产业链的芯片级化学品基地,努力实现半导体产业链的自主可控,强化整个国家和地区在芯片材料的竞争力。
(湖北广电融媒体记者 林浩 李理 责任编辑 李小涵)
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